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今日，盛美上海宣布，已向領(lǐng)先的面板制造客戶成功交付首臺(tái)面板級(jí)先進(jìn)封裝電鍍?cè)O(shè)備Ultra ECP ap-p。

據(jù)介紹，Ultra ECP ap-p是面向大面板市場(chǎng)的首臺(tái)商用面板級(jí)銅電鍍系統(tǒng)，支持凸柱、凸塊和再分布層（RDL）工藝中的電鍍環(huán)節(jié)。該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了可與傳統(tǒng)圓形晶圓工藝相媲美的面板處理性能，使制造商能夠更加高效地滿足嚴(yán)苛的器件要求。

盛美上?？偨?jīng)理王堅(jiān)表示：“成功交付Ultra ECP ap-p訂單彰顯了憑借差異化創(chuàng)新，我們有能力提供高性能面板電鍍解決方案，以幫助客戶加速推進(jìn)扇出型面板級(jí)封裝技術(shù)藍(lán)圖，同時(shí)鞏固我們?cè)谙冗M(jìn)封裝生態(tài)體系里的重要地位。隨著市場(chǎng)對(duì)新一代器件需求的增長(zhǎng)，面板級(jí)封裝提供了大規(guī)模生產(chǎn)所需的可擴(kuò)展性、產(chǎn)能和成本優(yōu)勢(shì)，這將實(shí)現(xiàn)業(yè)界從300毫米晶圓封裝到面板級(jí)封裝的無(wú)縫過(guò)渡?！?/p>

據(jù)了解，該系統(tǒng)采用ACM專利申請(qǐng)保護(hù)的水平電鍍技術(shù)，并支持銅、鎳、錫銀及金等多材質(zhì)電鍍工藝。其中，銅電鍍腔體配備了專為高凸柱應(yīng)用設(shè)計(jì)的高速電鍍槳葉，能夠?qū)崿F(xiàn)超過(guò)300微米的凸柱高度。Ultra ECP ap-p設(shè)備采用四邊密封干式接觸卡盤(pán)以提升可靠性，配備電鍍腔內(nèi)清洗功能以最大限度減少不同電鍍腔之間的化學(xué)交叉污染，并采用水平電鍍?cè)O(shè)計(jì)——通過(guò)同步旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)與旋轉(zhuǎn)矩形電場(chǎng)實(shí)現(xiàn)卓越的膜厚均勻性。

盛美上海是一家為半導(dǎo)體前道和先進(jìn)晶圓級(jí)封裝應(yīng)用提供晶圓工藝解決方案的供應(yīng)商。憑借豐富的技術(shù)和工藝積累，公司形成了平臺(tái)化的半導(dǎo)體工藝設(shè)備布局，包括清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備、立式爐管系列設(shè)備、前道涂膠顯影Track設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD設(shè)備、無(wú)應(yīng)力拋光設(shè)備、面板級(jí)先進(jìn)封裝設(shè)備、后道先進(jìn)封裝工藝設(shè)備以及硅材料襯底制造工藝設(shè)備等。

除了本次的Ultra ECP ap-p，盛美上海在今年9月還宣布推出首款KrF工藝前道涂膠顯影設(shè)備Ultra Lith KrF，旨在支持半導(dǎo)體前端制造。首臺(tái)設(shè)備系統(tǒng)已于9月交付中國(guó)頭部邏輯晶圓廠客戶。

財(cái)報(bào)顯示，公司第三季度營(yíng)業(yè)收入18.81億元，同比增長(zhǎng)19.61%；凈利潤(rùn)5.7億元，同比增長(zhǎng)81.04%。2025年前三季度營(yíng)業(yè)收入51.46億元，同比增長(zhǎng)29.42%；凈利潤(rùn)12.66億元，同比增長(zhǎng)66.99%。業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)主要原因是報(bào)告期內(nèi)公司主營(yíng)業(yè)務(wù)收入和毛利較上年同期大幅增長(zhǎng)；公司年初至報(bào)告期末對(duì)外投資產(chǎn)生的非經(jīng)常性損益金額為1.64億元，較上年同期大幅增長(zhǎng)；公司年初至報(bào)告期末確認(rèn)的股份支付費(fèi)用相比上年同期大幅減少。